专利号： 200610048031.X 央求日： 2006/10/13 授权公告日： 2008/8/13 专利权东谈主： 大连理工大学 发明东谈主： 丛明;杜宇;张传念念;孔祥吉;沈宝宏;金立刚 选录：    本发明属于集成电路装备制造技能边界，特殊波及一种硅片预瞄准安设过甚要领。该预瞄准安设包括：水平对心单位，TCD检测单位抖音风 裸舞，投光单位抖音风 裸舞，承片台单位和数据滚动及截至单位。其中水平对心单位用于转念硅片的Y向偏移；TCD检测单位用于检测硅片的边际以及切边或缺口的位置；投光单位用于辐照平行光束；承片台单位用于旋转和升降硅片；数据滚动及截至单位用于罗致、滚动和发送TCD检测单位的光强信号抖音风 裸舞，截至步进电机的通顺。本发明的效力和益处是欺诈该安设的要领用光学检测仪器合营简便的机构完了了硅片的高精度定位，其算法简便，本钱低，不错赔偿硅片在传输经过中的定位过错，完了对硅片几何中心和切边或缺口的精详情位。 r级书屋